Metallmaterjalid
1. roostevaba teras
Roostevaba teras on tavaline materjal, mida kasutatakse enamiku vaakumpumpade tootmisel. See pakub kõrget korrosioonikindlust, korrosioonikindlust ja bio - inerdust. Oma suurepäraste materiaalsete omaduste tõttu pakuvad roostevabast terasest vaakumpumbad suurepärast vastupidavust ja pikka kasutust. Lisaks võib roostevabast terasest töötada kõrgematel temperatuuridel, muutes selle sobivaks paljudele keskkondadele.
2. alumiiniumsulam
Alumiiniumsulam on kerge materjal, mida kasutatakse laialdaselt täppisinstrumentide valmistamisel. Alumiiniumsulami vaakumpumbad pakuvad suurepärast vastupidavust, tugevust ja jäikust. Kuid nende suhteliselt kehva korrosioonikindluse tõttu ei saa neid kasutada söövitavate gaaside ekstraheerimiseks.
Kolloidmaterjalid
1. fluorokarbon kumm
Fluorosüsiniku kumm on vaakumpumpades tavaliselt kasutatav kummist materjal. See pakub suurepärast oksüdatsiooniresistentsust, happe- ja leelise vastupidavust ning kulumiskindlust. Fluorosüsiniku kumm võib taluda ka laia temperatuuri kõikumisi ega kaota temperatuurimuutuste tõttu elastsust.
2. polütetrafluoroetüleen
Polütetrafluoroetüleen on väga levinud materjal, mida kasutatakse erinevates rakendustes. Vaakumpumba materjalina on sellel suurepärased happe- ja leeliselised vastupidavus, hõõrdetakistus ja mitte - kepi omadused.
Keraamilised materjalid
Keraamilised materjalid on veel üks tavaline materjal, mida kasutatakse vaakumpumpades. Need pakuvad suurepärast korrosioonikindlust, kõrge tugevust ja kõrget - temperatuuritakistust. Oma ainulaadsete materiaalsete omaduste tõttu kasutatakse keraamilisi vaakumpumpasid laialdaselt kõrgetes - tehnikatööstustes, näiteks pooljuhtide tootmisel, elektroonilistel komponentidel ja päikesepatareides.