Mikromefragmapump on miniatuurne vaakumpump, mis on varustatud sisselaskeava ja väljalaskeavaga, igas asub heitgaaside otsik. Pumba mehhaaniline mehhanism vastab membraanile, luues pideva vaakumi või negatiivse rõhu sisselaskeavas ja kerge positiivse rõhu heitgaaside korral. Töökeskkond on peamiselt gaas ja pump on kompaktne seade. Mikromefragmapumbad töötavad kahes režiimis. Järgnev selgitab nende tööpõhimõtteid üksikasjalikult.
1. Mikroelektriline diafragmapump kasutab toiteallikana miniatuurset alalisvoolu mootorit (tavaliselt 5 V, 12 V või 24 V). See mootor juhib sisemise mehaanilise ekstsentrilise mehhanismi, mis omakorda saab membraani. See surub õhu fikseeritud - helitugevuse pumbakambris (kokkusurudes on imemisport suletud ja väljalaskeava on avatud, luues kerge positiivse rõhku) ja venitab selle (kokkusurudes on väljalaskeport suletud ja iminaport on avatud, luues negatiivse rõhu). See loob vaakumpumba imemispordi ja ümbritseva atmosfäärirõhu vahelise rõhu erinevuse. See survediferentsiaaljõud (imeb) õhku pumbakambrisse ja seejärel väljalaskeava välja.
2. Mikrodiafragmapumbad kasutavad kruvi pöörlemist imemise ja tühjendusvedelikeni. Mikrodiafragmapumba keskkruvi on aktiivkruvi, mida juhivad peamine liikuja. Mõlemal küljel olevad kruvid on ajendatud kruvid, pöörledes aktiivkruvi vastas suunas. Nii aktiivsete kui ka ajendatud kruvide niidid on topelt - algus. Kruvide ja kruvide ja vooderdise siseseina vahelise tiheda sobivuse tõttu luuakse mikrodiafragmapumba imemis- ja tühjendusportide vahel üks või mitu suletud ruumi. Kruvi pöörlemisel ja silmad moodustuvad need suletud ruumid vaakumpumba imemisotsas pidevalt, tihendades vedeliku imemiskambris. Seejärel surutakse vedelik pidevalt iminikambrist piki kruvi aksiaalset suuna kuni tühjendusotsani ja igas ruumis suletud vedelik lastakse pidevalt välja, täpselt nagu mutter lükatakse keerme pöörlemisel pidevalt edasi. See on mikromefragmapumba põhiline tööpõhimõte.